Pompy próżniowe można traktować jako sprężarki do wytwarzania podciśnienia. Wymagania dla olejów do pomp próżniowych tłokowych i rotacyjnych są podobne jak dla olejów do sprężarek powietrza. Do preferencyjnych parametrów olejów do pomp rotacyjnych i tłokowych należą:

• niska prężność pary
• wysoka stabilność termooksydacyjna i termiczna
• właściwości deemulgujące

Do pomp dyfuzyjnych:

• najniższa z możliwych prężność par
• powietrze (gaz) pozbawione wilgoci
• wysoka stabilność termiczna i termooksydacyjna

Oleje do pomp próżniowych wytwarzających niedużą próżnię, to produkty które mają zastosowanie również w sprężarkach powietrza lub oleje silnikowe. Do pomp wytwarzających dużą próżnię stosowane są oleje o małej prężności par. Oleje te skalsyfikowane są odrębnie.

Systemy smarowania w pompach próżniowych tłokowych i rotacyjnych są podobne do systemów w sprężarkach powietrza.